「はんだバンプの断面観察」

手研磨による試料作製でお困りではありませんか？
誰でも簡単に精密な試料研磨ができる「IS-POLISHER」によるCSPパッケージのバンプ断面観察事例をご紹介します。

CSPパッケージのバンプ断面観察事例

課題

• 手研磨を行う際、負荷を与え過ぎて試料にクラック、キズが発生する。
• また手研磨による押圧のばらつきにより、バンプ配列の均一な断面観察ができない。

解決策

• 低い荷重で試料作製できる「ウェイトキャンセラ」を使用することで、面圧を制御しキズの少ない観察面を実現できます。
• はんだバンプの配列を精度よく揃えるには、0.01°で傾斜角を調整できる「1軸傾斜ホルダ」を使うことで解決します。
• 研磨時間、回転数、回転方向、送り速度、荷重、研磨エリア、角度補正、削り量設定などの基本条件を記録/共有することで、誰もが同じ試料作製を行うことができます。

研磨レシピの紹介

使用機能

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