ISPP-3000 概要
ISPP-3000は、精密研磨作業工程での問題点の解決策が凝集されたシステムです。
ISPP-3000には、次のような特長があります。
画面に従って操作するだけで簡単に条件を設定できる
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低負荷で試料作製できる「荷重設定機能」
露出させたい特定部位を晶出させないように、削り量を1ミクロン単位で設定できる機能です。
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試料にかける荷重をワンタッチで設定できます
IS-POLISHERの荷重設定機能は、天秤の原理を応用した機構で自重を一旦ゼロとした後、必要最低限の荷重をかけることで、試料に瞬間的にかかる負荷を軽減させています。これにより荷重をかけすぎることで生じる、表面の結晶構造の歪みを抑えることができます。ISPP-3000ではこの機構をモーターによって制御しています。
削り量を1ミクロン単位で設定できる「削り過ぎ防止機能」
削り量設定機能とは、露出させたい特定部位を消失させないように削り量を設定する機能です。試料の位置を自動検出し、削る量を1ミクロン単位で設定できます。
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包埋なしで試料を直接保持できる豊富な「試料ホルダ」
試料形状や目的に応じた試料ホルダを開発。試料を直接保持できるので、大幅な時間短縮できます。
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