組織観察(EBSD)
金属組織
従来の研磨では難しかったEBSD(結晶方位解析)用の試料の作製が可能です。
付属のウェイトキャンセラを使うことで試料に掛かる圧力を自在にコントロールすることができるため、アルミ・銅・半田などの柔らかい金属材料から硬い金属材料の研磨を行うことができます。
IS-POLISHERによるEBSD用試料の作製事例
試料保持機構やウェイトキャンセラなどにより、組織構造に与えるダメージが少ない研磨が可能です。
EBSDの試料作製
試料調整(サイズ調整等)
必要に応じて切断機やIS-POLISHERを使い、観察に適した大きさにサイズ調整します。
試料台へ搭載
試料切片が小さい場合は、試料台にマウンティングワックス等で固定します。
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試料ホルダへ取り付け
試料片が大きい場合は直接クランプすることも可能です。
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機械的研磨
正確な面保持と荷重調整で、深層へダメージを与えずに研磨することができます。
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化学的研磨
コロイダルシリカ等の研磨剤を用いる事で、表層部の加工変質層を化学的に除去します。
コロイダルシリカ等の腐食性のある研磨材を用いる事で、表層部のダメージ層を化学的に除去します。
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EBSD試料の完成
◆試料データ
材質:SUS304
試料サイズ:約5mm角
総所要時間:約45分
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