傾斜研磨

2軸傾斜アジャスタで微小な角度調整を行い、チップコンデンサなどの極小部品の斜め研磨が簡単にできます。斜め研磨を行うことで、厚み方向が拡大され、観察しやすくなります。
また、メッキや薄膜などの断面などに対し、幅広い観察が可能となりました

例：積層セラミックコンデンサの断面構造
斜め研磨の原理
2軸傾斜アジャスタの装着イメージ
2軸傾斜アジャスタは高精度・微細な傾きの調整ができます

斜め研磨の実例「積層セラミックコンデンサ」

高拡大率の斜め研磨を手軽に実現することができます。

斜め研磨法による拡大観察試料作製

例として一般的な電子回路に使われている、1608タイプの積層セラミックコンデンサの断面構造を斜め研磨で観察。
セラミック素材の本体の中に、アルミ電極箔が積層されています。

STEP
1

試料台への搭載/試料ホルダへ取り付け

試料台にマウンティングワックス等で固定します。
傾斜時に試料台が研磨盤に当たらない様に端に付けておきます。

試料ホルダに試料台を取り付けます。
この時にホルダの方向と試料の向きを合わせておきます。

STEP
2

2軸傾斜アジャスタ角度設定

試料ホルダを2軸傾斜アジャスタにセットし、希望する拡大率に合わせて角度を設定します。
2軸傾斜アジャスタの調整機構は5°(4mm)に設定しました。この場合の拡大率はcosec5°=11.474となります。

STEP
3

研磨

研磨対象物が小さく脆いため通常だと包埋が必要なケースですが、IS-POLISHERではウェイトキャンセラを使用することで試料ホルダや2軸傾斜アジャスタの自重をも軽減することができます。
そのため包埋しなくてもデリケートな研磨が可能です。

STEP
4

試料の完成

通常の断面研磨での観察像
（電極の箔厚：約1.5μ/電極の間隔：約8μ）
かなりの高倍率でないと、積層構造の様子が判らない。

斜め研磨での観察像
（電極の箔厚：約17μ/電極の間隔：約92μ）
厚み方向だけが拡大されるので、電極の感覚のばらつきや曲がり等が視覚的にも強調されて観察できます。

STEP
5