第6回 研磨実習体験レポート

「IS-POLISHER」を実際に使用した社員の感想や気づいた点をご紹介したいと思います。
今回はIさんが前回試料作製した３端子レギュレータのSEM観察とEDXによる元素分析を行なった模様をお届けします。

「3端子レギュレータのSEM観察を行いました」

SEM観察例ボンディング部

EDXデータ取得例

SEM観察で三端子レギュレータのシリコン組織がはっきりと見えます。
ワイヤー部のダレもないため観察がスムーズに行えました。
SEM観察の前処理として精密研磨仕上げの重要性がわかった実習となりました。