「トランジスタの不具合解析」

手研磨による試料作製を自動化しませんか？
誰でも簡単に精密な試料研磨ができる「IS-POLISHER」によるトランジスタの不具合解析をご紹介します。

トランジスタの不具合解析

課題

• トランジスタの不具合解析を行いたいが、不具合個所の特定が難しく削りすぎてしまい、観察面が出せない。

解決策

• IS-POLISHERは「倒立型光学顕微鏡」を搭載しています。試料を装置から取り外すことなく研磨と観察を繰り返すことで不具合箇所の特定が容易にできます。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
• また、研磨量をミクロン単位で設定して断面研磨を繰り返すことで、試料の削りすぎを防止できます。

研磨レシピの紹介

使用機能

詳細はこちら