半導体の研磨事例1 「ボンディング配列出し」

「半導体の研磨」でお困りではありませんか？
　新発想の自動低負荷試料作製システム「IS-POLISHER」による半導体部品の研磨事例をご紹介します。

ボンディング配列出し

課題

半導体・電子部品の断面の構造解析の場合、目的の端子を観察するにはボンディングを配列通りに精度よく露出させることが必要ですが、熟練者であっても削り過ぎてしまうという課題があります。

 

解決策

• ボンディングの配列を精度よく揃えるには、「1軸傾斜ホルダ」で微細な傾斜角を調整できます。
• 「削り過ぎ防止機能」を使用することで、研磨量を調整できます。
• ボンディングに使用されるAu、Cu、Alのような軟らかい金属は、「ウェイトキャンセラ」を使用し低負荷で研磨することによって、目的の観察面が得られます。
• 研磨時間、回転数、速度などの基本データを数値化することで、熟練者の技術の継承、習得を行えます。それによって、同じ条件の試料作製を繰り返し行うことが可能になりました。

 

研磨プロセス

試料研磨機メーカーだからできる「試料研磨サービス」始めました

お客様の材料や製品の、品質改善や製品開発をサポートする「試料研磨・解析サービス」を行なっています。
試料研磨・観察・測定・分析を弊社にお任せいただくことで、他の仕事に専念でき、社内の効率化が図れます。
試料の種類、材質、大きさ、精度など、お客様のご要望にお応えします。
詳しくはこちらのページをご覧ください。

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