1軸傾斜ホルダで
微細な傾斜角を調整

1軸傾斜ホルダは、−4度〜＋2度の傾き補正が容易に行えます。
1軸傾斜ユニットの角度調整機構を使ってBGAパッケージのバンプやワイヤボンディング配列断面が全幅にわたって見える様に作製できます。

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2軸傾斜アジャスタで
全方向の傾斜角を調整

試料ホルダに2軸傾斜アジャスタを装着すると、2本のマイクロユニットによって全方向に最大3度の傾斜角調整ができるようになります。
この角度調整機構を使って、斜め研磨による拡大観察や面合わせを行うことが可能です。