1軸傾斜ホルダで微細な傾斜角を調整

1軸傾斜ホルダは、−3度〜+3度の傾き補正が容易に行え、試料を直接保持できます。
角度調整機構を使ってBGAパッケージのバンプやワイヤボンディング配列出しができます。

2軸傾斜アジャスタで全方向の傾斜角を調整

メッキコーティング層、薄膜積層構造物などの拡大観察を行うには、面合わせと斜め研磨を正確な角度で保持できる2軸傾斜アジャスタを使用します。