ISPP-3000は、精密研磨作業工程での問題点の解決策が凝集されたシステムです。
ISPP-3000には、次のような特長があります。

  1. 画面に従って操作するだけで簡単に条件を設定できる
  2. 低負荷で試料作製できる「荷重設定機能」
  3. 削り量を1μm単位で設定できる「削り過ぎ防止機能」
  4. 包埋なしで試料を直接保持できる豊富な「試料ホルダ」

 

操作性を追求した簡単な条件設定

   基本操作の流れ セッティング画面 ・新規設定:新規のレシピを作成 ・直前設定:前回のレシピを呼び出して、作業開始 ・メモリ呼び...

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これまでにない軌道を描く「研磨パターン」

回転ありモード 材料や性質が異なる試料に、より幅広く対応する回転モードです。   回転なしモード 微細な領域の仕上げを行うモードです。 ◆す...

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低負荷による加工を可能にした「荷重設定機能」

ウェイトキャンセラを自動化するため、自動荷重コントロール機能を開発しました。 試料にかかる荷重を極限までおさえることができるため、ストレスを与えることなく...

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1μm単位で設定できる「削り量設定機能」

入力した削り量に到達すると、自動停止します。 精度は5μm以内、設定は1μm単位でできます。  

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研磨条件のメモリ保存機能

経験の浅い作業者でも簡単に始められます 待機画面 待機画面で条件入力を確認後、設定を保存できます。 メモリNo.設定画面(1〜999) ...

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包埋なしで試料を直接保持できる「試料ホルダ」

試料形状や目的に応じた試料ホルダを開発。 試料を直接保持できるので、大幅な時間短縮できます [gallery size="medium" ids=&qu...

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試料面の傾きを調整できる「1軸傾斜ホルダ」「2軸傾斜アジャスタ」

1軸傾斜ホルダで 微細な傾斜角を調整 1軸傾斜ホルダは、−3度〜+3度の傾き補正が容易に行えます。 1軸傾斜ユニットの角度調整機構を使ってBGAパッケージのバンプやワイヤ...

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