ISPP-3000は、精密研磨作業工程での問題点の解決策が凝集されたシステムです。
ISPP-3000には、次のような特長があります。
- 画面に従って操作するだけで簡単に条件を設定できる
- 低負荷で試料作製できる「ウェイトコントロール機構」
- 削り量を1μm単位で設定できる「削り過ぎ防止機能」
- 包埋なしで試料を直接保持できる豊富な「試料ホルダ」
簡単な条件設定
基本操作の流れ セッティング画面 ・新規設定：新規のレシピを作成 ・直前設定：前回のレシピを呼び出して、作業開始 ・メモリ呼び...
続きを読む研磨パターンの設定
回転ありモード 材料や性質が異なる試料に、より幅広く対応する回転モードです。 回転なしモード 微細な領域の仕上げを行うモードです。 ◆す...
続きを読む研磨荷重の設定（ウェイトコントロール機構）
ウェイトキャンセラを自動化するため、自動荷重コントロール機能を開発しました。 試料にかかる荷重を極限までおさえることができるため、ストレスを与えることなく...
続きを読む削り量の設定（削り過ぎ防止機能）
入力した削り量に到達すると、自動停止します。 精度は5μm以内、設定は1μm単位でできます。
続きを読む研磨条件のメモリ保存機能
経験の浅い作業者でも簡単に始められます 待機画面 待機画面で条件入力を確認後、設定を保存できます。 メモリNo.設定画面（1〜999） ...
続きを読む包埋なしで試料を直接保持できる豊富な試料ホルダ
試料形状や目的に応じた試料ホルダを開発。 試料を直接保持できるので、大幅な時間短縮できます [gallery size="medium" ids=&qu...
続きを読む試料面の傾きを調整できる「1軸傾斜ホルダ」「2軸傾斜アジャスタ」
1軸傾斜ホルダで 微細な傾斜角を調整 1軸傾斜ホルダは、−3度〜＋3度の傾き補正が容易に行えます。 1軸傾斜ユニットの角度調整機構を使ってBGAパッケージのバンプやワイヤ...
続きを読むIS-POLISHERに関するお問合せは045-717-5136受付時間 9:00-18:00 [土・日・祝日除く]
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