基本操作の流れ
セッティング画面
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・新規設定:新規のレシピを作成
・直前設定:前回のレシピを呼び出して、作業開始
・メモリ呼び出し:メモリに登録されたレシピを呼び出して、作業開始いずれかを選択する
ホルダの選択
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試料の形状に合わせて使用するホルダを選択します。
回転あり/なし選択
回転方向の選択
- CW:時計回り
CCW:反時計回り回転方向の選択を行います。
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パターンの選択
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回転ありモードの場合は、研磨パターンは5種類選択することができます。
回転なしモードの場合は、研磨パターンは8種類選択することができます。
荷重の選択
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試料の形状、性質および作業条件により必要な荷重を選択する。
25gから300gまで12段階から選択できます。
研磨中の変更が可能です。
回転スピードの選択
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12.5rpmから300rpmまで9段階から選択できます。
研磨中の変更が可能です。
送りスピードの選択
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XY軸の送り速度は、100mm/分から4000mm/分9段階で選択できます。
時間設定
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試料の形状、性質および作業条件により必要な時間を入力する。
最長99分59秒まで入力できます。
給水ON/OFFの選択
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オプションの給水ユニットを使用すると、給水ON/OFFが選択できます。
乾式研磨の場合はOFFの選択をして下さい。
研磨中のON/OFFの変更が可能です。
確認・注意事項
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「確認・注意事項」を確認したら、「完了」ボタンを押す。
待機画面
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再度条件を確認して、[Start]ボタンで作業開始。
稼働中には荷重、回転速度、給水ON/OFFの変更が可能です。
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