1. ウエイトキャンセラ機構
  2. 研磨量調整機構
  3. 研磨レシピの数値化
  4. 観察用顕微鏡
  5. 研磨方向の選択
  6. 確度調整付き試料ホルダ
  7. 高精度研磨盤

  8. IS-POLISHERと手研磨比較