削り量設定機能とは、露出させたい特定部位を消失させないように削り量を設定する機能です。
試料の位置を自動検出し、削る量を1μm単位で設定できます。

基準位置検出ボタンを押します

STEP
1

試料を盤面にタッチさせ基準位置を検出します

STEP
2

削り量を入力します

STEP
3

設定した削り量に到達すると自動停止します

停止後、待機位置に自動退避します。

STEP
4