基本操作の流れ

セッティング画面

新規設定:新規のレシピを作成
直前設定:前回のレシピを呼び出して、作業開始
メモリ呼び出し:メモリに登録されたレシピを呼び出して、作業開始
いずれかを選択します。

STEP
1

ホルダの選択

試料の形状に合わせて使用するホルダを選択します。

STEP
2

回転あり/なし選択

STEP
3

回転方向の選択

回転方向の選択を行います。
CW:時計回り
CCW:反時計回り

STEP
4

パターンの選択

回転ありモードの場合は、研磨パターンは5種類選択することができます。
回転なしモードの場合は、研磨パターンは8種類選択することができます。

STEP
5

荷重の選択

試料の形状、性質および作業条件により必要な荷重を選択します。
25gから300gまで12段階から選択できます。
研磨中の変更が可能です。

STEP
6

回転スピードの選択

12.5rpmから300rpmまで9段階から選択できます。
研磨中の変更が可能です。

STEP
7

送りスピードの選択

XY軸の送り速度は、100mm/分から4000mm/分9段階で選択できます。

STEP
8

時間設定

試料の形状、性質および作業条件により必要な時間を入力します。
最長99分59秒まで入力できます。

STEP
9

給水ON/OFFの選択

オプションの給水ユニットを使用すると、給水ON/OFFが選択できます。
乾式研磨の場合はOFFの選択をして下さい。
研磨中のON/OFFの変更が可能です。

STEP
10

確認・注意事項

「確認・注意事項」を確認したら、「完了」ボタンを押します。

STEP
11

待機画面

再度条件を確認して、[Start]ボタンで作業開始。
稼働中には荷重、回転速度、給水ON/OFFの変更が可能です。

STEP
12