試料形状や目的に応じた試料ホルダを開発。
試料を直接保持できるので、大幅な時間短縮できます

 

イオンミリング・クロスセクションポリッシャ前の
直角出し・平面出しが早い

イオンミリング・クロスセクションポリッシャ専用の試料ホルダを用意しています。
クランプブロックを方向変換するだけで研磨面を簡単に切り替えることができます。
対応機種:JEOL IB-19500CPシリーズ、日立ハイテク E-3500/IM4000、Leica EM TIC 3X

imcp-01

 

1軸傾斜ホルダで
微細な傾斜角を調整

1軸傾斜ホルダは、−3度〜+3度の傾き補正が容易に行えます。
1軸傾斜ユニットの角度調整機構を使ってBGAパッケージのバンプやワイヤボンディング配列断面が全幅にわたって見える様に作製できます。

 

adjuster-01

 

adjuster-03

 

 

2軸傾斜アジャスタで
全方向の傾斜角を調整

試料ホルダに2軸傾斜アジャスタを装着すると、2本のマイクロユニットによって全方向に最大5度の傾斜角調整ができるようになります。
この角度調整機構を使って、斜め研磨による拡大観察や面合わせを行うことが可能です。