特長
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- 研磨条件を数値化し自動化できる「再現性の高い試料作製」
研磨条件をすべて数値化できますので、繰り返し同じ試料を作製できます ≫詳細ページ - 低負荷で試料作製できる「ウェイトキャンセラ」
銅、アルミ、ハンダ、高分子などにストレスを与えず試料作製できます ≫詳細ページ - 削り量を2μm単位で設定できる「削り過ぎ防止機能」
露出させたい特別部位を消失させないように除去範囲を設定できます ≫詳細ページ - 試料を取り外すことなく観察できる「倒立型光学顕微鏡」
試料を装置から外すことなくすぐに観察が可能です ≫詳細ページ - 包埋のいらない豊富な「試料ホルダ」
試料を直接保持できるので、大幅な時間短縮ができます ≫詳細ページ - 試料面の傾きを調整できる「1軸傾斜ホルダ」「2軸傾斜アジャスタ」
微細な傾斜角や全方向の傾斜角を調整できます ≫詳細ページ
- 研磨条件を数値化し自動化できる「再現性の高い試料作製」
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